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由中微半導體設備(上海)股份有限公司制造的刻蝕機，將于今年下半年運往臺積電美國工廠，用于 5nm 工藝芯片生產。
報道顯示，位于金橋綜保區的中微公司在本輪上海疫情期間堅持閉環生產，公司經營不斷取得新突破，在閉環生產中，公司原材料進口需求也得到浦東海關大力協助，海關方面指導中微公司通過“單一窗口”“互聯網 + 海關”等渠道在線辦理申報，并通過在口岸實行外觀查驗后即刻放行，貨物在企業潔凈室符合條件環境下再行拆箱查驗的新模式，使進口貨物查驗通關由此前的兩周變為兩三天。
報道還透露，同樣位于綜保區的安集微電子科技(上海)股份有限公司，也得到浦東海關大力幫助，使安集科技成為上海市各綜保區中首家“保稅研發”試點。大大節約企業成本，進而反哺研發，公司化學機械拋光液 7nm 至 10nm 研發項目進度大大提速。
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